Установка по задумке сможет проводить групповую обработку SMIF-контейнеров и кассет для пластин диаметром 150 мм и 200 мм. За 2.5 года эту установку должны будут создать во ВНИИЭФ (Всероссийском научно-исследовательском институте экспериментальной физики).
SMIF-контейнеры используются на производствах микроэлектроники, в частности, на Микроне, Исток им. Шокина, НИИС им. Седакова, НЗПП Восток.
В Минпромторге оценивают спрос на установки для отмывки и сушки SMIF-контейнеров в России – не менее, чем в 10 единиц до 2030 года. Сейчас такое оборудование закупают по импорту, в основном, в Китае. Такие установки, например, производит компания HEYAN.
Источник: https://t.me/RUSmicro/5942
