Современная электроника №3/2024

ЭЛЕМЕНТЫ И КОМПОНЕНТЫ 39 WWW.SOEL.RU СОВРЕМЕННАЯ ЭЛЕКТРОНИКА • № 3 / 2024 Рис . 10. Повторяемость смещения нуля гироскопа в составе модуля Рис . 12. Чувствительность гироскопа к линейному ускорению в составе модуля Рис . 11. Погрешность масштабного коэффициента гироскопа в составе модуля Рис . 13. Смещение нуля акселерометра в составе модуля Рис . 8. Смещение нулевого сигнала гироскопа на температурном диапазоне в составе модуля Рис . 9. Стабильность нуля гироскопа в составе модуля номинального значения ( рис . 5). Фактическое значение для рас - смотренной выборки составля - ет округленно 10 004±50 LSB/(°/ с ) при номинально допустимом 10 000±500 LSB/(°/ с ). Погрешность масштабного коэффициента ( МК ), нелинейность передаточной характеристики В выборке из 150 гироскопов только один прибор продемон - стрировал номинальное значение погрешности МК в 0,1%. Остальные значения расположены в диапазоне 0,01…0,079 %, формируя несколько групп вблизи отметок 0,033%, 0,039% и 0,053% ( рис . 6). Анализ фактических показателей инерциальных МЭМС модулей M301 Каждый модуль линейки M301 содержит 3 гироскопа и 3 акселеро - метра ( рис . 7). В кратких ТУ нормиру - ются величины 9 параметров гироско - пов и 8 параметров акселерометров , а также общие для модуля характери - стики ( табл . 2). В рамках настоящей журнальной статьи рассмотрим толь - ко часть параметров , вносимых про - изводителем в протокол заводских испытаний . Параметры гироскопов в составе модуля M301 Дрейф нуля , или смещение нулевого сигнала гироскопа в пределах рабочего температурного диапазона Согласно кратким ТУ на модуль , дрейф не должен выходить за преде - лы ±100°/ ч . Среди 300 чувствитель - ных элементов (100 модулей , каждый имеет 3 оси ) размах измеренных значе - ний составил –54,6…88,7°/ ч , что соот - ветствует требованиям ( рис . 8). Стабильность нуля гироскопа Результаты расчётов значения ста - бильности нуля представлены в виде